INTEGRATED GAS SYSTEM>>Partage de séries de produits IGS
VIGOR propose des systèmes de gaz intégrés (IGS) avancés conçus spécifiquement pour le contrôle des gaz de haute-pureté dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Nos solutions combinent une ingénierie innovante avec des normes de fabrication strictes pour garantir fiabilité, compacité et performances supérieures dans les applications critiques.
Caractéristiques du produit
- Utilisé pour le contrôle des gaz dans l'industrie des semi-conducteurs
- Conception modulaire
- Tous les composants sont montés en surface conformément à la norme SEML
- La taille est d'environ 1/3 du panneau traditionnel
- Matériau standard SEMl, procédé d'électropolissage et soudage orbital
- Wseal et C-sceau facultatif
- Double emballage en salle blanche
- Tous les produits, à l'exception des « supports », sont tous fabriqués conformément à la spécification de processus VS001A.
Régulateurs de pression IGS série VIR
1. Max. Pression de service : 150 psig
2. Max. Température de fonctionnement : -40 degrés F ~ 140 degrés F (-40 degrés ~ 60 degrés).
3. Pression de sortie : 0 ~ 100 psig
4. La finition de surface : Max. 5uin. Râ
5. Matériau : 316L VIM-VAR
6. Siège de soupape : PCTFE (PFA/Vespel en option)
7. Capacité de débit : Cv=0.08
Vannes à membrane IGS série VID
1. Max. Pression de service : 150 psig
2. Max. Température de fonctionnement : PCTFE 14 degrés F ~ 176 degrés F (-10 degrés ~ 80 degrés) ; PFA 14 degrés F ~ 302 degrés F (-10 degrés ~ 150 degrés)
3. Aucune conception sans issue
4. La surface humide est traitée avec EP, Max. 5uin. Ra.
5. Matériau : 316L VIM-VAR
6. 100 % d'hélium-fuite-testée
7. Capacité de débit : Cv=0.1
Vannes de régulation de débit IGS série VIM
1. Max. Pression de service : 150 psig
2. Max. Température de fonctionnement : 14 degrés F ~ 302 degrés F (-10 degrés ~ 150 degrés)
3. Étanchéité : FKM
4. La surface humide est traitée avec EP, Max. 5uin. Râ
5. Capacité de débit : Cv=0.03
Clapets anti-retour IGS série VICV
1. Max. Pression de service : 150 psig
2. Max. Température de fonctionnement : 14 degrés F ~ 176 degrés F (-10 degrés ~ 80 degrés)
3. Finition de la surface : Max. 5uin. Râ
4. Pression de craquage : 0,33 psig
5. Capacité de débit : Cv=0.2
Substrats série VlB (joint C-)
1. C-joint
2. Installation non-fixe pour garantir l'effet d'étanchéité
3. La partie humide est traitée au EP
4. La finition de surface : Max. 5uin.Ra
5. Matériau : 316L VIM-VAR
Série de produits de base
- Régulateurs de pression IGS (série VIR)
- Vannes à membrane IGS (série VID)
- Vannes de régulation de débit IGS (série VIM)
- Clapets anti-retour IGS (série VICV)
- Substrats et supports IGS (série VIB)
- Joints (série VIG)
Pourquoi choisir VIGOR IGS ?
Nos systèmes représentent une synergie d'ingénierie de précision et de conception pratique, offrant :
- Efficacité spatiale : taille du panneau considérablement réduite.
- Ultra-haute pureté : matériaux et processus adaptés aux applications de qualité semi-conducteur-.
- Flexibilité modulaire : facile à configurer, à développer et à entretenir.
- Fiabilité éprouvée : tests rigoureux et conformité aux normes SEMI-.
Chez VIGOUR, nous proposons bien plus que de simples composants -nous fournissons des solutions intégrées qui donnent vie à vos idées avec confiance et précision.
