Produit VIGOR Express|Contrôleur de débit série VEFS2

Poussé par l'intelligence artificielle, le-calcul haute performance (HPC), l'électronique automobile et les applications de l'Internet des objets, le secteur des semi-conducteurs connaît une transformation rapide. Toutefois, cette croissance remarquable a également introduit de nouveaux défis opérationnels. Alors que les échelles de production augmentent à un rythme sans précédent, les gaz spéciaux à haut risque tels que le silane et la phosphine sont largement utilisés dans les usines de fabrication de semi-conducteurs. Toute fuite de gaz incontrôlée causée par une rupture de pipeline, des raccords desserrés, une défaillance des joints ou une mauvaise installation peut rapidement dégénérer en un grave incident de sécurité, menaçant la sécurité du personnel, endommageant les équipements de production critiques et provoquant des temps d'arrêt imprévus coûteux. Dans ce contexte, le commutateur de débit excessif (EFS) de VIGOUR, avec sa conception d'actionnement purement mécanique et sa compatibilité exceptionnelle avec l'ultra-haute-pureté (UHP), est devenu une protection de sécurité indispensable pour les systèmes d'alimentation en gaz spéciaux, y compris les armoires à gaz et les VMB, dans les lignes de fabrication de semi-conducteurs du monde entier.

Le principe de conception de base du VIGOR EFS est de détecter les conditions de débit anormales et d’y répondre de manière fiable. Lorsqu'une défaillance d'un pipeline en aval entraîne une augmentation soudaine et excessive du débit qui dépasse le point de déclenchement critique prédéfini, l'appareil déclenche immédiatement un signal de réponse. Ce signal est transmis par l'ouverture ou la fermeture de contacts électriques dans le commutateur à lames intégré-, qui est ensuite synchronisé et envoyé au système SCADA ou au système de surveillance des gaz (GMS). En fournissant des alertes-en temps réel et en permettant des réponses automatisées rapides, il prend en charge une gestion proactive de la sécurité, atténue efficacement les dangers potentiels et renforce la fiabilité globale du réseau de livraison de gaz.

Dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, chaque composant du système de gaz peut devenir une source potentielle de contamination. Même de minuscules particules, des impuretés métalliques ou une adsorption en surface peuvent compromettre la qualité des plaquettes et réduire les rendements de production. Par conséquent, VIGOR adhère strictement aux normes strictes de l’industrie des semi-conducteurs pour garantir la pureté des matériaux, la propreté des surfaces et la stabilité opérationnelle.

En termes de normes de matériaux, VIGOR utilise exclusivement de l'acier inoxydable 316L produit grâce à la technologie de double-fusion VIM/VAR. Ce procédé métallurgique avancé réduit considérablement les inclusions métalliques et les impuretés résiduelles, garantissant une excellente résistance à la corrosion et minimisant le risque de contamination par les gaz. Pour le traitement de surface, tous les produits subissent un électropolissage avancé (EP), maintenant une rugosité de surface interne de 5 à 10 μin. Un intérieur aussi lisse et propre empêche les molécules de gaz de s'adsorber sur les parois intérieures et élimine la précipitation des particules, permettant ainsi une distribution de gaz stable et sans contamination.

De plus, VIGOR EFS offre une large sélection de points de déclenchement critiques et des options de configuration flexibles pour s'adapter à divers scénarios d'application. Grâce à une simple correspondance des paramètres, les utilisateurs peuvent facilement déterminer le modèle précis en fonction de types de gaz spécifiques, des conditions de pression de fonctionnement et des débits maximaux autorisés. Ce haut degré de personnalisation garantit une protection précise et fiable contre les débordements-pour diverses applications de gaz d'ultra-haute pureté-dans la fabrication moderne de semi-conducteurs.

  Contrôleur de débit pour applications à haut débit

 Disponible avec ligne principale horizontale ou verticale

 Chute de pression minimale à travers l'appareil

 Acier inoxydable SS 316L